ESD / CDM / LATCH-UP 시험기
ESD Station Model 1200 Series
1200E：HBM/MM Pin Combination ESD Tester
1200EC:
CDM Test Function is included to 1200E
1200EL:
Latch-up Test Function is included to 1200E
1200ELC:
CDM Test Function is included to 1200EL
![ESD Station [Model1200]](https://www.tet.co.jp/img/pd/esd/1200_L.jpg)
모델 1200 시리즈는
국내외 규격에 대응 한 ESD / CDM / LATCH-UP 시험기로 최대 256 핀 Programmable pin combination하여
안정적이고 효율적인 시험을 실시 할 수 있습니다.
비용 면에서도 시험 기능을 나중에 쉽게 추가 할 수 있기 때문에
큰 비용 부담이 없고 시험 환경을 구축 할 수 있습니다.
또한 3축 로봇 구조에 인가 헤드를 구현 한 것으로,
LED 부품에서 다핀 장치까지 다양한 제품 평가에 사용할 수 있습니다.
특징
• HBM, MM, Latch-up, CDM 등
4가지 기능을 하나의 시스템에 담았습니다.
• 최대 1350핀 쌍 테스트 가능 (특수 DUT
보드를 사용한 비공급 핀과 공급 핀 간)
• CDM 테스트를 포함한 모든 Device 레벨 ESD 테스트 가능
설명
ESD
Station Model 1200ELC 테스터는 ESD, 래치업 및 CDM 테스트를 하나의 시스템으로 결합한 세계 최초의 상용 ESD 테스트
시스템으로, 최대 256핀의 디바이스에 적합합니다. 전용 DUT
보드 (다음 페이지의 DUT 보드 예제 2)가 제공되는 경우, 비공급 핀 대 공급 핀 ESD
테스트 최대 1350핀 쌍을 자동으로 테스트할 수 있지만,
이는 일종의 간소화된 ESD 테스트입니다.
이 시스템은 128핀 또는 256핀 전체 핀 조합 ESD 테스트 기능과 최대 4Vcc 공급 래치업 테스트 기능을 포함할 수 있으며,
JEDEC 표준을 충족하는 CDM 테스트 기능과
ESDA 또는 JEITA 표준을 충족하는 옵션도 제공합니다.
모델 1200E: HBM 및 MM ESD 테스트를 지원합니다.
모델 1200EL: HBM, MM 및 래치업 테스트를 지원합니다.
모델 1200ELC: HBM, MM, 래치업 및 CDM 테스트를 지원합니다.
ESD 테스트를 통해 장치 손상과 ESD 스트레스 간의 관계를 테스트할 수 있습니다.
ESD 스트레스에는 인체 모델(HBM)과 기계 모델 (MM)이 포함됩니다. 모델 1200E 에는 HBM과 MM이 모두 포함되지만
다른 스트레스 모델도 옵션으로 쉽게 포함될 수 있습니다. 128 핀 또는 256핀은 ESD 리턴 핀 (터미널 B)으로 프로그래밍 할 수 있으므로 많은 ESD 표준에서 요구하는 전체 핀 조합 테스트가 허용됩니다.
래치업 테스트는 래치업 전류 (래치업 감지 시 Inom ) 를 감지하는 CMOS 장치의 래치업 감도를 측정합니다. 전류 펄스, 전압 펄스 및 공급 과전압 펄스는 래치업의 트리거 소스로 기본 시스템에 포함됩니다. 또한
HBM 및 MM ESD 펄스는 필요한 경우 래치업을 트리거하는데 사용될 수 있습니다.
다른 래치업 트리거 소스를 옵션으로
설치하여 과도 래치업을 평가할 수 있습니다.
안정적인 래치업 테스트 결과를 얻으려면 장치 내부 조건을 안정화하고 전류, Inom을
공급하는 것이 매우 중요합니다. 모든 입력 핀에 대한 풀업/다운
기능은 이러한 목적을 위해 기본
구성으로 제공됩니다. 클록 및 패턴 생성도 옵션으로 제공됩니다.
CDM
테스터 모델 1200ELC 의 기본 구성에는 Field Induced
CDM(FI-CDM 또는 F-CDM)을 자극하는 JEDEC
공기 방전 CDM 헤드가 포함됩니다. 선택적으로 DI-CDM (또는 JEITA 표준의 경우 D-CDM) 및
ESDA 또는 AEC 표준의 FI-CDM과 같은 다른 CDM 헤드를 제공할 수 있습니다. 모든 CDM 모델은 외부 금속에 대한 충전된 장치 금속 단자 접촉으로 인해 발생하는 빠른 공기 방전 응력을 시뮬레이션합니다.
모델 1200ELC Zapping 헤드 ESD 펄스발전기 유닛 CDM 프로브 D-CDM 중 CDM
및 DUT 테스트 헤드 테스트 보기
ESD test
ESD % 방법 테스트의 메인 창:
이 창에서 ESD 펄스 전압, 극성, 주기, 반복 횟수, 핀 조합 등을 설정할 수 있습니다.
또한, I-V 곡선 측정 지점, 평균값 계산 횟수 및 테스트 핀을 정의할 수도 있습니다.
ESD 테스트 조건 프로그래밍 창 DUT 보드 예제 1 DUT 보드 예제 2
1핀 조합의 경우 더 높은 핀 수를 위해
Latch-up Test
전류 펄스 트리거된 래치업 테스트의 메인 창:
펄스 폭, 주기, 전류 값, Vdd 전압 및 래치업 전류 기준을 설정할 수 있습니다.
현재 래치업 테스트 프로그래밍 창
CDM Test
CDM 위치 지정 창:
0.4mm 이하와 같은 미세 접촉 피치 장치에도, CCD 카메라와 모니터 뷰, 그리고 정전 용량 측정 시스템을 통해 쉽고 신뢰성 있는 위치 지정을 할 수 있습니다.
이러한 기능은 DUT 핀 위치 지정을 프로그래밍하는 동안뿐만 아니라 테스트 중에도 작동합니다.
CDM 위치 지정 창
Clear CDM Discharge Waveform
그림은 작은 정전 용량 모듈에서의 방전 파형을 보여줍니다.
F-CDM, AEC를 포함한 테스트에서는 공기 방전이 요구되지만, 이는 습도, 접촉 오염 및 기타 환경에 따라 달라질 수 있습니다.
30% 이하의 습도 제어는 1200ELC 모델에서 선택적으로 제공됩니다. 또한, 릴레이 방전을 사용하여 합리적인 해결책을 제공할 수 있습니다.
JEITA 규격의 CDM 프로브도 사용 가능합니다.
AEC 4pF 방전파형
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