![[Model 7000X]](https://www.tet.co.jp/img/pd/esd/7000x.jpg)
인체 모델 (HBM), 기계 모델 (MM)의 ESD 테스트는 반도체 소자의 정전기 방전에 대한 신뢰성 시험의 핵심 과제입니다.
또한 LATCH-UP 시험은 주로 CMOS IC의 신뢰성 시험 항목으로 생략 할 수 없습니다.
M7000 시리즈는이 같은 요구에 부응하는 국내외 규격에 대응 한 ESD / LATCH-UP 시험 장치입니다.
M7000 시리즈는 1 축 로봇에 취부 된 ESD 펄스 발생 장치에서 ESD 모델을 결정합니다.
따라서 파형 규격에 대한 대응이 ESD 펄스 발생 장치 (EPG) 만 변경 대응할 수 있고, 장기간 사용하실 수 있습니다.
l 최대 1024개의 핀과 풀 핀 조합 기능 제공
l ESD(HBM 및 MM) 및 래치업 테스트 허용
l JEDEC, MIL, ESD 협회 및 EIAJ 표준 및 향후 표준 충족
l 급격한
테스트 시간 단축
l 진정한
정전류 펄스와 빠른 펄스 전원 공급 장치
l 풀업/다운 및 패턴 생성기를 통해 DUT를 안정화합니다
l 자동
또는 수동 조작을 통해 세부 테스트 결과를 빠르게 수집합니다
l 온도
계수 테스트를 허용합니다
l 전원
공급 장치의 최소 경로 저항
l 테스트
간 손상 감지
l zap 사이의 방전
l 여러 DUT, 여러 공급 DUT 및
LCD 드라이버 테스트
l 기능
테스트 사용 가능
l DUT 보드의 낮은 삽입력 커넥터
l 완벽한
진단과 간편한 유지보수
l 이더넷으로
연결 가능
l 데이터베이스
프로그램에 의한 데이터 조작 허용
반도체 시장에서는 더 높은 통합과 속도의 발전이 지속되며, 특히 메모리, 마이크로프로세서, ASIC, LCD 드라이버 분야에서 급속한 변화가 이루어지고 있습니다. 이에 따라 ESD(정전기 방전) 및 래치업 신뢰성 평가의 중요성이 더욱 강조되고 있습니다.
모델 7000X 시리즈는 단일 시스템으로 ESD 및 래치업 테스트를 수행할 수 있는 최첨단 신뢰성 평가 시스템입니다. 최대 1024핀 소자를 대상으로 완전 자동화된 테스트가 가능합니다.
E형: ESD 테스트 전용
L형: 래치업 테스트 전용
EL형: ESD 및 래치업 테스트 모두 지원
ESD 펄스 생성기(EPG)**가 2축 로봇에 부착되어 DUT(테스트 대상) 재핑 수행
HBM, MM 등 다양한 파형 사양 설치 가능
4개의 C/R 포함, 최대 4개의 로봇(로봇당 256핀) 사용 가능
기존 모델보다 10배 이상 빠른 테스트 속도 제공
릴레이 매트릭스 설치로 모든 핀 조합에 대한 ESD 테스트 가능
DC 섹션을 통한 VI 곡선 변화 및 성능 저하 감지
DC 섹션 기반 트리거 방식 (전류 펄스, 전압 펄스 등)
ESD 펄스 기반 래치업 테스트 가능
고속 연속 근사 절차 지원 (테스트 시간 단축)
Icc 비교 방식으로 래치업 감지 및 안정화
풀업/풀다운 설정 및 디지털 패턴 공급 기능
고온 오븐을 활용한 온도 계수 측정 가능
디지털 오실로스코프 및 방출 현미경을 통한 래치업 분석 가능
미니어처 선형 가이드를 통한 위치 제어
최대 4개의 EPG(ESD 펄스 생성기) 유닛을 유연하게 제어할 수 있습니다.
재핑(Zapping) 시간은 이전 모델 대비 1/10 이하로
단축되었습니다.
512핀 DUT 보드의 쉬운 배출
다중 장치 DUT 보드
채택된 스페이스 등급 커넥터
핀 일렉트로닉스 핀당 작은 PC 보드 하나
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